Зашто јеЗаптивка од молибденаза заптивање на високим{0}}температурама премаза?
Болне тачке у условима рада у индустрији вакуумских премаза: зашто постоје строги захтеви за заптивке?
Магнетронско распршивање и испаравање електронског снопа су основни процеси облагања полупроводничких плочица, оптичких сочива и фотонапонског стакла. Постоје три основне болне тачке у њиховим производним условима, а конвенционалне заптивке се уопште не могу прилагодити. Ово су такође посебни захтеви индустрије за заптивне компоненте. Разлози за захтеве:
Захтеви за високим вакуумом: Процес треба да одржи окружење ултра-високог вакуума од 10 ³ ~ 10 ₹ Па. Ако заптивач има проблема са испухавањем и цурењем вакуума, то ће изазвати дефекте као што су рупице, удубљења и смањена адхезија у слоју премаза.
Радни услови високе температуре: Током процеса премаза, циљна температура загревања и печења подлоге може да достигне 300-800 степени, а неки врхунски процеси испаравања електронских зрака чак прелазе 1000 степени. Заптивка треба да одржава стабилну величину на високим температурама, без деформације или омекшавања.
Средња отпорност на корозију: Металне паре као што су алуминијум, титанијум, хром и силицијум ће се производити током премаза. У исто време, праћено јонским бомбардовањем, заптивка мора избегавати реакције легирања са обложеним металом и не може бити оксидована јонским бомбардовањем да би се произвеле честице нечистоће.
Конвенционалне заптивке (гумене заптивке имају отпорност на високу температуру < 200 степени, заптивке од нерђајућег челика имају велики високотемпературни коефицијент топлотног ширења, а бакарне заптивке се лако натапају обложеним металом) не могу истовремено испунити горе наведене захтеве, а карактеристике материјала молибдена само одговарају радним условима вакуумског премаза. Постаните најбољи избор за заптивање компоненти у овој индустрији.
Које су основне техничке карактеристике заптивки од молибдена које се прилагођавају високо{0}}вакумским заптивачима у индустрији вакуумских премаза?
три димензије
Заптивке од молибдена могу прецизно решити болне тачке услова вакуумског премаза. Језгро произилази из природе ватросталног метала молибдена, као и оптимизације материјала и обраде према потребама индустрије. Његова прилагодљивост високо-температурном вакуумском заптивачу углавном се огледа у три димензије:
Ниска топлотна експанзија на високој температури и висока стабилност димензија како би се избегло оштећење површине заптивања
Тачка топљења молибдена је чак 2610 степени, нема омекшавања, нема пластичне деформације у радном стању премаза испод 800 степени, а коефицијент термичке експанзије је низак (5,8 × 10 ± →/ степен, 20 ~ 500 степени), што је у складу са коефицијентом топлотне опреме за језгро вакуће. материјали каросерије (304/316 нерђајући челик, легура титанијума) су веома усклађени.
У поређењу са језгром конкурентских заптивки од нерђајућег челика, коефицијент топлотног ширења нерђајућег челика је око 17 × 10 степени/степен. Под високом температуром, разлика у деформацији топлотног ширења између шупљине и заптивке је велика, што ће довести до празнина на површини заптивке и изазвати цурење вакуума; Заптивка од молибдена и шупљина синхроно се шире и скупљају, што увек може да одржи чврсто приањање површине заптивања и избегне квар заптивања узрокован топлотном деформацијом из корена.
Ниске перформансе испуштања под високом чистоћом да би се обезбедило окружење ултра{0}}високог вакуума
Вакумски премаз има изузетно високе захтеве у погледу брзине крварења заптивке. Ако унутар заптивке постоје поре и нечистоће, гасови као што су Х ₂ О, ЦО ₂ и Н ₂ ће се ослободити на високој температури, уништавајући вакуум.
Чистоћа молибдена заптивки од молибдена за вакуумско премазивање у индустрији мора бити већа од или једнака 99. 95%, а чистоћа превлаке од високо-електронског снопа испаравања мора бити већа или једнака 99. 99%; Унутрашња порозност молибдена високе - чистоће је < 0,01%, а након третмана вакуумским жарењем (степен вакуума је изнад 10 ˚ Па, температура је 1000 ~ 1200 степени), уље, вода и унутрашњи резидуални гас адсорбовани током процеса обраде могу да се уклоне, тако да се укупна брзина заптивног заптивка при високој температури гаса може уклонити. 1 × 10 ˚ Па м ³/с, што у потпуности испуњава процесне захтеве 10 ˚ Па ултра-високог вакуума.
Анти-медиј за премазивање, анти-бомбардовање и избегавање уношења нечистоћа
Молибден има одличну хемијску стабилност. У вакууму и окружењу са високом{1}}температуром, неће се легирати са главним металима за превлаку као што су алуминијум, титанијум и хром, нити ће бити натопљен металном паром премаза. У исто време, молибден има снажну анти-способност бомбардовања. Под утицајем јона магнетронског распршивања, на површини неће бити остатака оксидације или осипања честица, чиме се избегавају дефекти производа узроковани нечистоћама које улазе у слој премаза.
Конвенционалне заптивке од нерђајућег челика склоне су стварању честица оксида као што су Цр ₂ О ˚, Фе ˚ О ˚ под јонским бомбардовањем, што је један од главних узрока рупица и удубљења у производима за премазивање.
Коју практичну примену заптивке од молибдена могу донети индустрији вакуумских премаза?
У поређењу са конвенционалним заптивкама, заптивке од молибдена могу донети значајна побољшања у ефикасности производње и квалитету производа у производној линији вакуумског премаза. Основна вредност се огледа у смањењу трошкова, повећању ефикасности и побољшању квалитета стварне производње:
Стопа искоришћености опреме за дизање: радни век заптивки од молибдена под радним условима испод 800 степени је 5-8 пута већи од заптивки од нерђајућег челика и 3-5 пута од бакарних заптивки, што смањује број искључења и промена подлоге узрокованих кваром заптивке. Конвенционални премаз. Производна линија може смањити месечно време одржавања искључења са 8-10х на 1-2х.
Побољшајте стопу приноса производа за премазивање: карактеристике малог испуштања гасова и одсуства нечистоћа могу да смање не-добру стопу рупица и удубљења производа за премазивање за више од 80%, посебно погодно за врхунска-поља премаза као што су полупроводници и оптичка сочива.
Смањите свеобухватан трошак: Иако је јединична цена заптивки од молибдена 3 до 5 пута већа од цене заптивки од нерђајућег челика и бакра, уштеде које су последица ултра-дугог радног века и побољшане стопе приноса су много веће од почетне цене набавке. Трошкови потрошног материјала могу се смањити за око 40%.
Како оптимизовати болне тачке примене молибденских заптивки у индустрији вакуумских премаза?
Тренутно, у примени молибденских заптивки у индустрији вакуумских премаза, постоји мала болна тачка недовољне отпорности на оксидацију на високим температурама изнад 800 степени. Молибден се лако оксидира и формира МоО ㎡ (испарљив, загађује вакуумску шупљину) под високим температурама ваздуха/ниског вакуума. Као одговор на овај проблем, правац оптимизације у индустрији је формирао јасно решење, а језгро се врти око композитних заптивача на бази молибдена{3}}:
Површинска композитна модификација: слој танког танталног лима је композит на површини заптивке од молибдена (тантал има бољу отпорност на -температурну оксидацију и хемијску стабилност), који не само да задржава карактеристике ниске топлотне експанзије молибдена, већ и побољшава отпорност на оксидацију при високим-има.
Заптивке од легуре молибдена: Заптивке од легуре Мо-Ти-Зр се користе за побољшање отпорности на оксидацију при високим температурама и чврстоће самог материјала кроз оптимизацију легирања, и погодне су за процесе наношења премаза на ултра{3}}и високим температурама изнад 1000 степени;
Третман вакуумске заштите: Заптивка од молибдена се третира вакуумским јонским слојем, а на површини се формира густи керамички заштитни филм како би се изоловала реакција оксидације на високој температури без утицаја на пристајање површине заптивања.
НАМЕ
Ава
вецхат
ЛинкедИн
ВхатсАпп
Е-пошта
